Mittuniversitetet
miun.se
Publikationer
Vänta ...
Enkel sökning
Avancerad sökning -
Forskningspublikationer
Avancerad sökning -
Studentuppsatser
Statistik
English
Svenska
Norsk
Hoppa till innehåll
Ändra sökning
Sök
Sök
Endast dokument med fulltext i DiVA
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-31606
Direktlänk
http://miun.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1140937
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
Selective SiO2-to-Si3N4 etching in inductively coupled fluorocarbon plasmas: Angular dependence of SiO2 and Si3N4 etching rates
Schaepkens, M
Oehrlein, G S
Hedlund, Christer
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
ORCID-id:
0000-0003-2352-9006
Jonsson, Lars
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Blom, Hans-Olof
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Visa övriga samt affilieringar
1998 (Engelska)
Ingår i:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films, ISSN 0734-2101, E-ISSN 1520-8559, Vol. A16, nr 6, s. 3281-
Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1998. Vol. A16, nr 6, s. 3281-
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN:
urn:nbn:se:miun:diva-31606
DOI:
10.1116/1.581534
OAI: oai:DiVA.org:miun-31606
DiVA, id:
diva2:1140937
Tillgänglig från:
2007-03-01
Skapad:
2017-09-13
Senast uppdaterad:
2025-09-25
Bibliografiskt granskad
Open Access i DiVA
Fulltext saknas i DiVA
Övriga länkar
Förlagets fulltext
Person
Hedlund, Christer
Sök vidare i DiVA
Av författaren/redaktören
Hedlund, Christer
I samma tidskrift
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films
I ämnet
Annan elektroteknik och elektronik
Sök vidare utanför DiVA
Google
Google Scholar
doi
urn-nbn
Altmetricpoäng
doi
urn-nbn
Totalt: 270 träffar
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-31606
Direktlänk
http://miun.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1140937
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
v. 2.49.0
|
WCAG
|
Mittuniversitetets bibliotek
|
Mittuniversitetet - Forskning
|
DiVA Login
|
Kontakt
DiVA
Logotyp