Mid Sweden University
miun.se
Publikasjoner
vente ...
Enkelt søk
Avansert søk -
Forskningspublikasjoner
Avansert søk -
Studentoppgaver
Statistikk
English
Svenska
Norsk
Jump to content
Endre søk
Søk
Søk
Kun dokumenter med fulltekst i DiVA
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 4
CSV alle metadata
CSV alle metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Link to record
Permanent link
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-31606
Direct link
http://miun.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1140937
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annet format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annet format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
Selective SiO2-to-Si3N4 etching in inductively coupled fluorocarbon plasmas: Angular dependence of SiO2 and Si3N4 etching rates
Schaepkens, M
Oehrlein, G S
Hedlund, Christer
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
ORCID-id:
0000-0003-2352-9006
Jonsson, Lars
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Blom, Hans-Olof
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Vise andre og tillknytning
1998 (engelsk)
Inngår i:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films, ISSN 0734-2101, E-ISSN 1520-8559, Vol. A16, nr 6, s. 3281-
Artikkel i tidsskrift (Fagfellevurdert) Published
sted, utgiver, år, opplag, sider
1998. Vol. A16, nr 6, s. 3281-
HSV kategori
Identifikatorer
URN:
urn:nbn:se:miun:diva-31606
DOI:
10.1116/1.581534
OAI: oai:DiVA.org:miun-31606
DiVA, id:
diva2:1140937
Tilgjengelig fra:
2007-03-01
Laget:
2017-09-13
Sist oppdatert:
2025-09-25
bibliografisk kontrollert
Open Access i DiVA
Fulltekst mangler i DiVA
Andre lenker
Forlagets fulltekst
Person
Hedlund, Christer
Søk i DiVA
Av forfatter/redaktør
Hedlund, Christer
I samme tidsskrift
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films
Om emnet
Søk utenfor DiVA
Google
Google Scholar
doi
urn-nbn
Altmetric
doi
urn-nbn
Totalt: 270 treff
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 4
CSV alle metadata
CSV alle metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Link to record
Permanent link
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-31606
Direct link
http://miun.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1140937
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annet format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annet format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
v. 2.47.0
|
WCAG
|
Mittuniversitetets bibliotek
|
Mittuniversitetet - Forskning
|
DiVA Login
|
Kontakt
DiVA
Logotyp