Mittuniversitetet
miun.se
Publikationer
Vänta ...
Enkel sökning
Avancerad sökning -
Forskningspublikationer
Avancerad sökning -
Studentuppsatser
Statistik
English
Svenska
Norsk
Hoppa till innehåll
Ändra sökning
Sök
Sök
Endast dokument med fulltext i DiVA
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-47353
Direktlänk
http://miun.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1730842
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
Anisotropic etching of Z-cut quartz
Hedlund, Christer
ORCID-id:
0000-0003-2352-9006
Lindberg, U
Söderkvist, UBoJ
Uppsala universitet, Fasta tillståndets elektronik.
1993 (Engelska)
Ingår i:
Journal of Micromechanics and Microengineering, ISSN 0960-1317, E-ISSN 1361-6439, Vol. 3, s. 65-73
Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1993. Vol. 3, s. 65-73
Nationell ämneskategori
Teknik och teknologier
Identifikatorer
URN:
urn:nbn:se:miun:diva-47353
OAI: oai:DiVA.org:miun-47353
DiVA, id:
diva2:1730842
Tillgänglig från:
2015-07-15
Skapad:
2023-01-25
Senast uppdaterad:
2023-01-25
Bibliografiskt granskad
Open Access i DiVA
Fulltext saknas i DiVA
Person
Hedlund, Christer
Sök vidare i DiVA
Av författaren/redaktören
Hedlund, Christer
I samma tidskrift
Journal of Micromechanics and Microengineering
I ämnet
Teknik och teknologier
Sök vidare utanför DiVA
Google
Google Scholar
urn-nbn
Altmetricpoäng
urn-nbn
Totalt: 17 träffar
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-47353
Direktlänk
http://miun.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1730842
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
v. 2.46.0
|
WCAG
|
Mittuniversitetets bibliotek
|
Mittuniversitetet - Forskning
|
DiVA Login
|
Kontakt
DiVA
Logotyp