miun.sePublikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Simple method for quality factor estimation in resonating MEMS structures
RISE Acreo AB, Sweden.
RISE Acreo AB, Sweden.
RISE Acreo AB, Sweden.
RISE Acreo AB, Sweden.
Visa övriga samt affilieringar
2018 (Engelska)Ingår i: Journal of Physics, Conference Series, ISSN 1742-6588, E-ISSN 1742-6596, Vol. 1052, nr 1, artikel-id 012100Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The quality factor of a packaged MEMS resonating structure depends on both the packaging pressure and the structure’s proximity to the walls. This type of mechanical constraints, which causes energy dissipation from the structure to the surrounding air, are applicable for oscillating energy harvesters and should be considered in the design process. However, the modelling of energy losses or the measurements of their direct influence inside a packaged chip is not trivial. In this paper, a simple experimental method to quantify the energy loss in an oscillating MEMS structures due to the surrounding air is described together with preliminary results. The main advantage of the method is the ability to characterize the damping contributions under different vacuum and packaging conditions without requiring any packaging of the harvester chip or fabrication of multiple devices with different cavity depths.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2018. Vol. 1052, nr 1, artikel-id 012100
Nationell ämneskategori
Elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:miun:diva-35417DOI: 10.1088/1742-6596/1052/1/012100ISI: 000442553700100Scopus ID: 2-s2.0-85051331110OAI: oai:DiVA.org:miun-35417DiVA, id: diva2:1277022
Tillgänglig från: 2019-01-09 Skapad: 2019-01-09 Senast uppdaterad: 2019-08-06Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

fulltext(877 kB)33 nedladdningar
Filinformation
Filnamn FULLTEXT01.pdfFilstorlek 877 kBChecksumma SHA-512
afed0dc27b72ec0f9ed980724492fad73ba223133ff199dc5e8be189e05dca02ab48a1912d53a681a717c1840ff3f712343b78ca1317a8b09d024bba2cd09880
Typ fulltextMimetyp application/pdf

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Rusu, Cristina
Av organisationen
Avdelningen för elektronikkonstruktion
I samma tidskrift
Journal of Physics, Conference Series
Elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar
Totalt: 33 nedladdningar
Antalet nedladdningar är summan av nedladdningar för alla fulltexter. Det kan inkludera t.ex tidigare versioner som nu inte längre är tillgängliga.

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 101 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf