miun.sePublikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Etch rates of crystallographic planes in Z-cut quartz - experiments and simulation
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.ORCID-id: 0000-0003-2352-9006
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
1998 (Engelska)Ingår i: Journal of Micromechanics and Microengineering, ISSN 0960-1317, E-ISSN 1361-6439, Vol. 8, nr 1, s. 1-6Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

The anisotropic etching behaviour of monocrystalline quartz is studied both experimentally and with computer simulations. The etch rate minima were identified as the crystal planes mrs and . Various shapes and initial structures, both concave and convex, have been produced by etching quartz wafers in an HF:F solution. These have been subsequently analysed with a scanning electron microscope (SEM). Etch rates of both slow- and fast-etching crystal planes have been measured. The data thus obtained were fed into topography evolution software and a number of experimental profiles were compared with the simulated ones. To verify the work, a 3.5 m thick membrane was manufactured in a two-step double-sided etching process. This illustrates the usefulness of the data obtained, as well as the power of the simulations.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1998. Vol. 8, nr 1, s. 1-6
Nyckelord [en]
SILICON; GROWTH
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:miun:diva-31602DOI: 10.1088/0960-1317/8/1/001OAI: oai:DiVA.org:miun-31602DiVA, id: diva2:1140940
Anmärkning

Addresses: Rangsten P, Univ Uppsala, Angstrom Lab, Dept Mat Sci, Box 534, S-75121 Uppsala, Sweden. Univ Uppsala, Angstrom Lab, Dept Mat Sci, S-75121 Uppsala, Sweden.

Tillgänglig från: 2007-03-01 Skapad: 2017-09-13 Senast uppdaterad: 2017-09-13Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltext

Personposter BETA

Hedlund, Christer

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Hedlund, Christer
I samma tidskrift
Journal of Micromechanics and Microengineering
Annan elektroteknik och elektronik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 192 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf