Mittuniversitetet
miun.se
Publikationer
Vänta ...
Enkel sökning
Avancerad sökning -
Forskningspublikationer
Avancerad sökning -
Studentuppsatser
Statistik
English
Svenska
Norsk
Hoppa till innehåll
Ändra sökning
Sök
Sök
Endast dokument med fulltext i DiVA
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-31611
Direktlänk
http://miun.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1140921
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
Analysis and Simulation of Mask Erosion During Etching
Westlinder, Jörgen
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Engelmark, Fredrik
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Jonsson, Lars
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Hedlund, Christer
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
ORCID-id:
0000-0003-2352-9006
Katardjiev, Ilia
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Blom, Hans-Olof
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Visa övriga samt affilieringar
1999 (Engelska)
Ingår i:
American Vacuum Society 46th National Symposium, Seattle, USA, 1999
Konferensbidrag (Refereegranskat)
Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1999.
Nationell ämneskategori
Annan elektroteknik och elektronik
Identifikatorer
URN:
urn:nbn:se:miun:diva-31611
OAI: oai:DiVA.org:miun-31611
DiVA, id:
diva2:1140921
Konferens
American Vacuum Society 46th National Symposium, Seattle, USA
Tillgänglig från:
2007-03-01
Skapad:
2017-09-13
Senast uppdaterad:
2017-09-13
Bibliografiskt granskad
Open Access i DiVA
Fulltext saknas i DiVA
Person
Hedlund, Christer
Sök vidare i DiVA
Av författaren/redaktören
Hedlund, Christer
I ämnet
Annan elektroteknik och elektronik
Sök vidare utanför DiVA
Google
Google Scholar
urn-nbn
Altmetricpoäng
urn-nbn
Totalt: 228 träffar
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 5
CSV all metadata
CSV all metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Länk till posten
Permanent länk
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-31611
Direktlänk
http://miun.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1140921
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annat format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
v. 2.41.0
|
WCAG
|
Mittuniversitetets bibliotek
|
Mittuniversitetet - Forskning
|
DiVA Login
|
Kontakt
DiVA
Logotyp