Mid Sweden University
miun.se
Publikasjoner
vente ...
Enkelt søk
Avansert søk -
Forskningspublikasjoner
Avansert søk -
Studentoppgaver
Statistikk
English
Svenska
Norsk
Jump to content
Endre søk
Søk
Søk
Kun dokumenter med fulltekst i DiVA
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 4
CSV alle metadata
CSV alle metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Link to record
Permanent link
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-31611
Direct link
http://miun.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1140921
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annet format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annet format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
Analysis and Simulation of Mask Erosion During Etching
Westlinder, Jörgen
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Engelmark, Fredrik
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Jonsson, Lars
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Hedlund, Christer
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
ORCID-id:
0000-0003-2352-9006
Katardjiev, Ilia
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Blom, Hans-Olof
Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap.
Vise andre og tillknytning
1999 (engelsk)
Inngår i:
American Vacuum Society 46th National Symposium, Seattle, USA, 1999
Konferansepaper (Fagfellevurdert)
sted, utgiver, år, opplag, sider
1999.
HSV kategori
Identifikatorer
URN:
urn:nbn:se:miun:diva-31611
OAI: oai:DiVA.org:miun-31611
DiVA, id:
diva2:1140921
Konferanse
American Vacuum Society 46th National Symposium, Seattle, USA
Tilgjengelig fra:
2007-03-01
Laget:
2017-09-13
Sist oppdatert:
2017-09-13
bibliografisk kontrollert
Open Access i DiVA
Fulltekst mangler i DiVA
Person
Hedlund, Christer
Søk i DiVA
Av forfatter/redaktør
Hedlund, Christer
Om emnet
Søk utenfor DiVA
Google
Google Scholar
urn-nbn
Altmetric
urn-nbn
Totalt: 228 treff
Referera
Exportera
BibTex
CSL-JSON
CSV 1
CSV 2
CSV 3
CSV 4
CSV 4
CSV alle metadata
CSV alle metadata version 2
RIS
Mods
MARC-XML
ETDMS
Link to record
Permanent link
https://urn.kb.se/resolve?urn=urn:nbn:se:miun:diva-31611
Direct link
http://miun.diva-portal.org/smash/record.jsf?pid=diva2:1140921
Referera
Referensformat
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annet format
apa
ieee
modern-language-association-8th-edition
vancouver
Annet format
Fler format
Språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
de-DE
en-GB
en-US
fi-FI
nn-NO
nn-NB
sv-SE
Annet språk
Fler språk
Utmatningsformat
html
text
asciidoc
rtf
html
text
asciidoc
rtf
Skapa
Stäng
v. 2.41.0
|
WCAG
|
Mittuniversitetets bibliotek
|
Mittuniversitetet - Forskning
|
DiVA Login
|
Kontakt
DiVA
Logotyp